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| (사진=연합뉴스) |
[알파경제=(고베) 우소연 특파원] 일본의 첨단 반도체 제조업체 라피더스가 극한 자외선(EUV) 노광 장치의 도입을 시작하며 최첨단 반도체 양산을 향한 중요한 발걸음을 내딛었다고 니혼게이자이신문(닛케이)이 19일 전했다.
18일 홋카이도 치토세시에서 열린 기념식은 일본 반도체 산업의 새로운 장을 여는 역사적 순간을 알렸다.
라피더스의 고이케 준요시 사장은 약 100명의 참석자들 앞에서 "홋카이도에서 전 세계로 최첨단 반도체를 공급하겠다"는 포부를 밝혔다.
또 그는 "아직 첫 걸음이지만, 정상을 향한 확실한 시작"이라고 강조했다.
EUV 노광 장치는 반도체 생산의 핵심 공정인 노광 과정에 사용되는 첨단 장비로, 14일부터 시작된 장비 반입은 4회에 걸쳐 진행될 예정이며, 연내에 완료될 것으로 보인다.
장비의 거대한 규모로 인해 분할 반입이 불가피했다. 1대당 무게가 71톤에 달하는 이 장비는 높이가 3.4미터에 이른다.
미세한 회로를 정확히 그리기 위해 특수 광원과 렌즈 등 다양한 부품이 필요하며, 진동 영향을 최소화하기 위해 대형화됐다.
라피더스는 미국 IBM으로부터 기술을 제공받아 2025년 봄 2나노미터 제품의 시제품 생산을, 2027년에는 본격적인 양산을 목표로 하고 있다.
이는 대만 TSMC가 2025년 양산을 목표로 하는 최첨단 2나노미터 반도체와 동일한 수준이다.
EUV 노광 장치는 네덜란드 ASML이 독점 생산하는 고가의 장비로, 5~7나노미터 이하의 첨단 반도체 생산에 필수적이다.
1대당 약 300억 엔에 달하는 이 장비의 2023년 전 세계 출하량은 42대에 불과했다.
일본 정부는 2030년까지 일본 내 반도체 생산 기업들의 총매출을 15조 엔 이상으로 늘리는 계획을 세우고 있다.
라피더스는 생산 노하우 확립을 위해 약 150명의 기술자를 IBM의 미국 거점에 파견하여 교육을 진행 중이다.
노광 이후의 칩 절단, 봉지, 검사 등 후속 공정의 최적화도 중요한 과제로 남아있다.
일본 경제산업성에 따르면 첨단 반도체의 세계 시장 규모는 2030년에 53조 엔으로, 2020년 대비 7.6배 성장할 전망이다.
라피더스를 시작으로 일본 내 첨단 반도체 양산 체제가 구축되면, 소재와 제조장비를 포함한 광범위한 일본 산업에 긍정적인 파급효과가 있을 것으로 기대된다.
알파경제 우소연 특파원(wsy0327@alphabiz.co.kr)
